尺寸仅90奈米 浙江大学研发出全球最小LED

浙江大学光电科学与工程学院/海宁国际联合学院狄大卫教授和赵保丹研究员团队，成功研发出微米和奈米钙钛矿LED（PeLED），其中，最小尺寸仅为90奈米的奈米钙钛矿LED，为迄今为止全球最小LED画素，其缩小尺寸过程仅造成微弱的性能损耗。相关研究论文发表在国际期刊《自然》上。

中通社报导，狄大卫介绍，目前世界最先进的显示技术是基于Ⅲ-Ⅴ族半导体的微型发光二极体（Micro-LED），可实现超高清、超高精度的光电显示。但受限于复杂的工艺技术，微型发光二极体制造成本极高，当画素尺寸减小到约10微米或更小时，效率会急剧下降。

从Ⅲ-Ⅴ族半导体的微型发光二极体的微型化研究中获得启发，狄大卫团队开始研制用于未来显示技术的更小的钙钛矿LED，于2021年首次提出「微型钙钛矿LED」概念，并获得中国国家专利与国际专利。

用传统光刻工艺制造微型钙钛矿LED会破坏钙钛矿材料。为此，研究团队设计出一套局域接触工艺，通过光刻制作的图案化窗口确保画素区域远离电极边缘，能够制造画素尺寸从数百微米到90奈米的钙钛矿LED，同时保证了LED的发光效率。

值得注意的是，该团队研究获得了目前最小的LED器件，画素密度高达127,000 PPI，刷新所有LED阵列的最高纪录。此外，团队基于商业薄膜电晶体（TFT）阵列， 成功开发了原型主动矩阵micro-PeLED显示器，验证了其在高解析度显示领域的应用潜力。

据悉，微米和奈米钙钛矿LED在AR/VR显示器等领域具有巨大应用潜力。